Garching – Smartphones, Autos, Internet: Jeder Mensch hat im Alltag Kontakt mit dutzenden Computerchips, Speichermedien und Leistungshalbleitern. Die Wahrscheinlichkeit, dabei auf ein Produkt von Süss Microtec zu treffen, ist – zumindest indirekt – sehr hoch. Denn die Garchinger rüsten Chip-Riesen wie TSMC und Samsung aus.
„Wir stellen Anlagen für die Fertigung von Halbleiterchips her“, erklärt Bernd Schulte, Geschäftsführer des börsennotierten Mittelständlers. Denn die Halbleiterfertigung ist ein aufwendiger Prozess: Die Basis von Chips sind sogenannte Wafer, hauchdünne Scheiben aus Silizium.
„Die Wafer werden für den späteren Kontakt mit Endgeräten wie Smartphones oder Tablets vorbereitet. Diese Chipstruktur ähnelt optisch einer belgischen Waffel. Dieses Muster erzeugen unsere Anlagen“, so Schulte.
Präzision ist dabei alles: „Unsere Anlagen formen Strukturen im Mikrometerbereich, gerade so mit bloßem Auge zu erkennen. Die eigentliche Chipstruktur im Inneren ist im Nanometerbereich angelegt – diese Struktur sieht man nur mit einem Elektronenmikroskop.“ Zum Vergleich: Ein Nanometer verhält sich zu einem Meter wie eine Haselnuss zum Umfang der Erde. Dabei darf nichts schief- gehen: „Die Wafer, die unsere Anlagen bearbeiten, haben einen Wert von 50 000 oder 100 000 Euro“, sagt Schulte, „Jedes Prozent Ausbeute entscheidet über Gewinn und Verlust für unsere Kunden.“
Und darin sind die Süss-Anlagen richtig gut: „Bei den Anlagen, die den lichtempfindlichen Fotolack auftragen und bei jenen, die anschließend die Belichtung vornehmen, sind wir mit 40 bis 50 Prozent Marktanteil weltweit die Nummer 1 oder 2“, erklärt Süss-Chef Schulte. Der Fotolack ist dabei eine Art Schablone, mit der die Schaltkreise für den späteren Ätzprozess projiziert werden. Die Konkurrenz: riesige Konzerne wie Tokyo Electron, etwa hundert Mal so groß wie Süss.
Der Mittelständler ist ein Münchner Traditionsunternehmen: Karl Süss gründete den Betrieb 1948, um Mikroskope und Kameras zu vertreiben. 1963 erhielt Süss von Siemens den Auftrag, einen Fotolithografen zu bauen – das heutige Kerngeschäft. Dass Süss einer der führenden Chip-Ausrüster ist, liegt vor allem an der konsequenten Spezialisierung.
Diese und der schmale Markt sichern die Nische für Süss: „Wir sprechen im für uns relevanten Bereich der Lithografie von einem globalen Markt in Höhe von rund 400 Millionen Euro im Jahr. Es lohnt sich für die ganz großen Halbleiter-Anlagenbauer nicht, viel in die Forschung zu investieren, um uns aus diesem Markt zu drängen.“ Denn: „Wir haben einige technische Kniffe, die die Konkurrenz nicht hat.“
Gleiches gilt für die Anlagen zur Reinigung von Fotomasken. Die braucht es, damit die ganz feinen Strukturen im Nanometerbereich in den Mikrochips angelegt werden. „Wir haben mit 50 Millionen Umsatz rund 80 Prozent des Weltmarktes.“ Hier erwartet Süss in den kommenden Jahren das größte Wachstum. „Weil die Chips immer komplexer werden, braucht es immer mehr Belichtungsschritte – und deshalb werden mehr Masken benötigt, die auch gereinigt werden müssen.“
Der Großteil der Produktion liegt in Sternenfels, Baden-Württemberg. In Garching, dem kleinsten Standort, fertigen 60 Arbeitskräfte unter anderem die Belichter. Weitere 60 arbeiten an Forschung und Entwicklung, 150 kümmern sich in der Konzernzentrale um Verwaltung, Vertrieb und Marketing. Der zweitgrößte Standort ist in Taiwan: Auf dieser Insel würden etwa 50 Prozent aller Chips auf der Welt gefertigt, ganz vorne dabei Branchenprimus TSMC.
Die Anlagen – oft mehrere Millionen Euro wert – werden per Luftfracht in die ganze Welt befördert. Hört man sich in der Branche um, kommen die großen Namen auf den Tisch: Süss beliefert demnach etwa TSMC, Samsung, Intel oder die Münchner Infineon.