Auf diesen 300-Millimeter-Wafern aus Silizium entstehen bis zu 30.000 Chips für E-Autos und Rechenzentren.
Roboter an Schienen tragen die Wafer durch die Fabrik.
Für das neue Modul 4 investiert Infineon fünf Milliarden Euro. Es wird die Kapazitäten verdoppeln und soll 1000 Arbeitsplätze schaffen. © Jürgen Lösel/dpa
Dresden – Fünf Milliarden Euro Investitionen, fünf Milliarden Euro Umsatzpotenzial: In zwei Wochen wird der Münchner Chip-Riese Infineon das größte Einzelprojekt seiner Geschichte in Betrieb nehmen. Die Fabrik entsteht vor den Toren Dresdens, im sogenannten Silicon Saxony. Jeder Dritte in Europa gefertigte Chip kommt aus Dresdens Industriepark.
Chips für E-Autos und Rechenzentren
Der Konzern fertigt hier vor allem Leistungshalbleiter und hat dabei einen Weltmarktanteil von 24 Prozent. Im Gegensatz zu den aktuell so gefragten Logik-Chips sollen sie nicht rechnen, sondern Stromflüsse steuern. Und das extrem energiesparend: „Infineon ist Technologieführer und Qualitätsführer bei Leistungshalbleitern“, erklärt Infineon-Vorstand Alexander Gorski. Dazu gehören Wechselrichter für Windräder, Steuerelemente für Elektromotoren und die Stromversorgung für Rechenzentren. „KI-Rechenzentren werden 2030 doppelt so viel Strom verbrauchen wie heute“, so Gorski. „Das ist dann so viel wie ganz Deutschland.“
Der Neubau ist die vorerst letzte Erweiterung eines Traditionswerks: 1994 hatte Infineon – damals noch die Halbleitersparte von Siemens – das erste Chip-Werk in der Region gebaut. Auf einem Gelände der Roten Armee, das eigentlich renaturiert werden sollte. Mit der neuesten Erweiterung ist das Gelände „von Zaun zu Zaun“ zugebaut, erklärt Werksleiter Thomas Richter.
Infineon bedient damit einen gerade unersättlichen Markt: „Mit unserem neuen Modul 4 verdoppeln wir die Kapazitäten am Standort Dresden“, so Gorski. Allein für dieses Werk sieht Infineon ein Umsatzpotenzial von fünf Milliarden Euro. Zum Vergleich: Der ganze Konzern erwartet dieses Jahr 16 Milliarden.
Zwischen Baugenehmigung und Fertigstellung vergingen nur 20 Monate. Während die Baugrube auf der einen Seite noch in den Lausitzer Granit gefräst wurde, hat man auf der anderen bereits das Fundament gegossen. Alle 2,5 Minuten verließ ein Lkw mit Aushub das Gelände. Sachsens Ministerpräsident Michael Kretschmer: „Die Baustelle war ein einmaliges Erlebnis. Niemand stand rum, überall wuselte es.“ Mitte Juni ist das Gebäude bereits fertig. Zwei Milliarden Euro hat der Bau gekostet. Weitere drei Milliarden werden für die Hochleistungs-Maschinen fällig. Modul 4 wird am 2. Juli in Betrieb gehen – zwei Monate vor dem Zeitplan. Zutritt gibt es nur mit Kopfhaube, Mundschutz, Overall, Handschuhe, Helm, Schutzbrille. Luft wird von der Decke durch Löcher im Boden gedrückt, um jedes Teilchen aus der Halle zu blasen. Denn die Schaltkreise, die die Maschinen in die dünnen Scheiben aus Silizium schneiden, bewegen sich im Nanometerbereich. Jedes Staubkorn könnte sie zerstören.
Jede Scheibe, ein „Wafer“, hat 300 Millimeter im Durchmesser, der Goldstandard in der Industrie. Bis zu 30.000 Chips werden aus einem Wafer gefertigt. Und das vollautomatisch, zeigt das ältere Modul 3 nebenan: An Schienen an der Decke flitzen kleine Greifarme durch den Raum. 3,5 Meter pro Sekunde, vollautomatisch gesteuert. Ein Chip kann 40 Bearbeitungsschritte brauchen. Dafür werden je 25 Wafer in einer Kunststoffbox gelagert. Die Greif-Roboter klemmen diese zwischen ihre Arme, flitzen zur richtigen Maschine und setzen sie dort ab. „Die Maschinen ziehen die Wafer selbst heraus, bearbeiten sie und setzen sie wieder ein“, erklärt Infineon. „Das Ganze ist ein hermetisch abgeriegelter Prozess.“ Modul 4 ist über das Schienennetz und Datenströme nahtlos mit der 300-Millimeter-Fertigung im alten Modul 3 verbunden. Und die ganze Fabrik arbeitet im Verbund mit dem Werk Villach.
Größter Chip-Komplex in ganz Europa
Infineon ist nicht der einzige Chip-Hersteller im Silicon Saxony. 80.000 Menschen arbeiten hier in 2500 Unternehmen. Nebenan entsteht gerade eine neue Gemeinschafts-Fabrik der Branchenriesen TSCM, Infineon und Bosch. Für beide Werke ist viel Steuergeld geflossen: Allein Infineon bekommt für das Modul 4 fast eine Milliarde Euro. Grundlage ist der European Chips Act. Das Industrieprogamm der EU soll Europa langfristig einen Marktanteil von rund 20 Prozent an der globalen Chip-Fertigung sichern. Heute sind es knapp 9 Prozent, drei davon aus Dresden.
Ministerpräsident Kretschmer: „Die Kosten in Deutschland sind nicht mehr wettbewerbsfähig. Und da ist es klar, dass wir diesen Nachteil ausgleichen müssen.“ Infineon-Vorstand Gorski betont: „Wir sind sehr dankbar für die Förderung.“ Gleichzeitig lobt er den Standort: „Wir profitieren sehr vom Ökosystem im Silicon Saxony“. Denn allein die TU Dresden ist eine wichtige Talentschmiede, die einzige Exzellenz-Uni in Ostdeutschland ohne Berlin. Und sie bringt immer mehr Start-ups hervor. „Wenn die Wafer und die Fabrik groß genug sind und die Automatisierung passt, kann eine Fabrik in Deutschland sehr wettbewerbsfähig sein.“
Obwohl das neue Modul vollautomatisch arbeitet, will Infineon 1000 Stellen aufbauen. „Wir haben unser Ausbildungsprogramm dafür verfünffacht“, so Gorski. Thomas Richter: „Aktuell haben wir 400 Facharbeiter in Ausbildung.“